真空蒸着とは、10-2Pa以下の真空中で、金属あるいはセラミックスを抵抗加熱あるいは電子ビームなどによって加熱蒸発させ、原子またはクラスターを製品表面に付着させる技術です。
蒸発物質の種類を選択することにより、装飾性に優れた、あるいは機能性の高い薄膜をコーティングすることができます。
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真空蒸着 | スパッタリング | イオンプレーティング | |||
抵抗加熱 | 電子ビーム | 抵抗加熱 | 電子ビーム | ||
粒子エネルギー | 0.1〜1eV | 0.1〜10eV | 0.1〜1000eV | ||
コーティングの可否 | |||||
高融点金属
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不可能 | 可能 | 可能 | 不可能 | 可能 |
低融点金属
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可能 | 可能 | 可能 | 可能 | 可能 |
高融点酸化物
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不可能 | 可能 | 可能 | 不可能 | 可能 |
付着性 | 良い | かなり良い | 非常に良い | ||
つきまわり性 | 蒸発源に対し 直行面には、良く付く |
つきまわり性は良い | つきまわり性は良い | ||
膜密度 | 低温では密度は低い | 高密度 | 高密度 | ||
成膜レート | 0.1〜50μm/min | 0.01〜0.5μm/min | 0.1〜50μm/min | ||
コーティング膜外観 | 光沢〜反光沢 | 光沢〜艶消し | 光沢〜艶消し | ||
膜中のピンホール | 低温成膜ではやや多い | 少ない | 少ない |
製品表面にアルミをコーティングすることにより、金属感を持たせた化粧品容器や光の反射性能を向上させた反射鏡などのメタライジング処理だけでなく、カラーリングやパール、艶消しなどと組み合わせることにより、より装飾性に富んだコーティングが可能です。
製品表面にSn(錫)やIn(インジウム)をコーティングすることにより、金属感を持たせながら非導電性(不連続)のメタライジング処理が可能です。
また、電波透過性も合わせ持つため、モバイル製品の筐体にも処理が可能です。
カラーリングやパール、艶消しなどと組み合わせることにより、より装飾性に富んだ外観を与えることが出来ます。
基板表面の光の反射を低下させることにより、透過率を上げることが出来る単層もしくは多層の誘電体薄膜です。
フィルター・レンズなどの光学部品にコーティングすることにより、光の散乱や損失を低下させ、光学機器において鮮明な像を得ることが出来ます。
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可視光の特定波長域の光を反射させ、他の波長域の光を透過させることにより、効率よく R・G・Bに色分解する誘電体多層膜ミラーです。光の三色分解や三色合成が可能です。
可視光の特定波長域の光を透過させ、他の波長域の光を反射させることにより、効率よくイエロー、マゼンタ、シアン等の補色を透過させる誘電体多層膜フィルターです。
可視光領域において、リップルが極めて小さく、高い透過率が得られます。
可視光を透過させ、近赤外線を反射させる誘電体多層膜フィルターです。ビデオカメラ等のCCDデバイスに悪影響をおよぼす近赤外線カット用として使用されています。短波長側の透過率50%の波長位置、透過率、カット波長帯域等の光学特性は任意に設定できます。
UVカットフィルターとIRカットフィルターの両特性を同時に実現。
可視光線は反射しますが、熱線を反射しませんので、温度上昇のない明るい光源が得られます。