Vacuum Deposition 真空蒸着

真空蒸着とは、10-2Pa以下の真空中で、金属あるいはセラミックスを抵抗加熱あるいは電子ビームなどによって加熱蒸発させ、原子またはクラスターを製品表面に付着させる技術です。
蒸発物質の種類を選択することにより、装飾性に優れた、あるいは機能性の高い薄膜をコーティングすることができます。

成膜方法別の被膜特性
真空蒸着 スパッタリング イオンプレーティング
抵抗加熱 電子ビーム 抵抗加熱 電子ビーム
粒子エネルギー 0.1〜1eV 0.1〜10eV 0.1〜1000eV
コーティングの可否




高融点金属
不可能 可能 可能 不可能 可能
低融点金属
可能 可能 可能 可能 可能
高融点酸化物
不可能 可能 可能 不可能 可能
付着性 良い かなり良い 非常に良い
つきまわり性 蒸発源に対し
直行面には、良く付く
つきまわり性は良い つきまわり性は良い
膜密度 低温では密度は低い 高密度 高密度
成膜レート 0.1〜50μm/min 0.01〜0.5μm/min 0.1〜50μm/min
コーティング膜外観 光沢〜反光沢 光沢〜艶消し 光沢〜艶消し
膜中のピンホール 低温成膜ではやや多い 少ない 少ない
真空技術概要

アルミ蒸着 化粧品容器・反射鏡

製品表面にアルミをコーティングすることにより、金属感を持たせた化粧品容器や光の反射性能を向上させた反射鏡などのメタライジング処理だけでなく、カラーリングやパール、艶消しなどと組み合わせることにより、より装飾性に富んだコーティングが可能です。

反射鏡 背品写真 化粧品容器 製品写真

このページの先頭へ

Sn・In蒸着(非導電性金属膜)筐体・タッチキー

製品表面にSn(錫)やIn(インジウム)をコーティングすることにより、金属感を持たせながら非導電性(不連続)のメタライジング処理が可能です。
また、電波透過性も合わせ持つため、モバイル製品の筐体にも処理が可能です。
カラーリングやパール、艶消しなどと組み合わせることにより、より装飾性に富んだ外観を与えることが出来ます。

用途
筐体、タッチキー、ドアハンドルなど。

このページの先頭へ

AR-Coating 反射防止膜

基板表面の光の反射を低下させることにより、透過率を上げることが出来る単層もしくは多層の誘電体薄膜です。
フィルター・レンズなどの光学部品にコーティングすることにより、光の散乱や損失を低下させ、光学機器において鮮明な像を得ることが出来ます。

特徴
  • 単層反射防止膜、マルチコート、広帯域マルチコートなど各種のAR コーティングができます
  • 膜品位が高い
  • 任意の入射角度に合わせた膜設計が可能
用途
カメラ、ビデオ、CCD用カバーガラス、太陽電池用カバーガラス、光ピックアップ、プロジェクター、複写機、各種光学機器。
AR-Coating 反射防止膜 製品写真
マルチARグラフ 2波長ARグラフ

このページの先頭へ

Dichroic Mirror ダイクロイックミラー

可視光の特定波長域の光を反射させ、他の波長域の光を透過させることにより、効率よく R・G・Bに色分解する誘電体多層膜ミラーです。光の三色分解や三色合成が可能です。

特徴
  • 効率の良い色分解が可能
  • 色分解後の反射光は平均90%以上の高い反射率をもつ
  • 光の入射角度や反射率50%の波長位置を任意に設定可能
  • プリズムタイプもあります
用途
ビデオカメラ、プロジェクター、カラー複写機、OHP、カラープリンター、ファクシミリ、照明機器、各種光学機器。
ダイクロイックミラー図
ダイクロイックミラーグラフ

このページの先頭へ

Dichroic Filter ダイクロイックフィルター

可視光の特定波長域の光を透過させ、他の波長域の光を反射させることにより、効率よくイエロー、マゼンタ、シアン等の補色を透過させる誘電体多層膜フィルターです。

特徴
  • 平均90%以上の高い透過率をもつ
  • 光の入射角度や透過率50%の波長位置を任意に設定可能
  • ブルーフィルター、グリーンフィルター、レッドフィルターもあります
用途
カラープリンター、ラボ用カラー引伸機、カラーファックス、照明機器、各種光学機器。
ダイクロイックフィルター図
ダイクロイックフィルターグラフ

このページの先頭へ

UVカットフィルター

可視光領域において、リップルが極めて小さく、高い透過率が得られます。

用途
液晶プロジェクター、各種ランプ製品、画像関連装置。
特徴
  • 可視光領域において、リップルが極めて小さく、高い透過率を得ることができます。
  • 透過帯からカット域への立ち上がりをシャープにした設計が可能です。
UVカットフィルター図 UVカットフィルターグラフ

このページの先頭へ

IR Cut Filter 近赤外線カットフィルター

可視光を透過させ、近赤外線を反射させる誘電体多層膜フィルターです。ビデオカメラ等のCCDデバイスに悪影響をおよぼす近赤外線カット用として使用されています。短波長側の透過率50%の波長位置、透過率、カット波長帯域等の光学特性は任意に設定できます。

特徴
  • 可視光の透過率が高い
  • 機械的、物理的特性に優れている
  • 近赤外線のカット帯域の広いものも可能
  • ガラス、液晶等各種の基板にコート可能
用途
ビデオカメラ、CCDデバイス、複写機、イメージスキャナー、照明機器、各種光学機器
近赤外線カットフィルター図 近赤外線カットフィルターグラフ

このページの先頭へ

UV・IRカットフィルター

UVカットフィルターとIRカットフィルターの両特性を同時に実現。

用途
液晶プロジェクター、各種ランプ製品、画像関連装置。
特徴
  • 可視光領域において、リップルが極めて小さく、高い透過率が得られます。
UV・IRカットフィルター図 UV・IRカットフィルターグラフ

このページの先頭へ

レーザーミラー

用途
各種レーザー用途(He-Ne、He-Cd、Ar、YAG、ルビーなど)
光学計測器、光ピックアップ、プリンター
特徴
  • 吸収・散乱が極めて小さく、膜によるレーザー光の損失がないので、ダメージを受けにくい特徴を有しています。
  • 任意の反射率のミラーを設計・成膜いたします。
レーザーミラーグラフ

このページの先頭へ

コールドミラー

可視光線は反射しますが、熱線を反射しませんので、温度上昇のない明るい光源が得られます。

用途
液晶プロジェクタ等の映像機器、照明機器や医療機器などの光源反射鏡
特徴
  • 可視光域では高い反射率を有し、赤外域においては高い透過性を得ることが可能です。
  • 無機誘電体薄膜のため、耐熱性が高い特徴を有しています。
コールドミラー図 コールドミラーグラフ

このページの先頭へ